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高纯铬靶材(4N)
六九新材
高性能镀膜靶材研发商
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4N铬靶(纯度99.99%)作为光掩模版的核心材料,在半导体和平板显示制造中扮演着不可替代的角色。其高纯度、精细加工特性直接决定了掩模版的图形精度和良品率,是推动先进制程发展的关键材料之一。 在掩模版中,铬层通过磁控溅射沉积于石英基板表面,形成遮光图形。4N铬靶因具有高刻蚀精度(可达纳米级)、均一镀膜能力及无毒稳定性,成为中高端掩模版的主流选择.相较于乳胶遮光膜或氧化铁等材料,铬膜能实现更锐利的图形边缘和更高的耐久性,适用于复杂集成电路的多次光刻工艺。

微信图片_20260128144659.png

成分(at%)

Composition

纯度

Purity

密度

Desity

晶粒度

Grain Size

制造工艺

Process

Cr99.5%>99.8%<150um热等静压
Cr99.8%>99.8%

<150um

热等静压
Cr99.9%>99.8%<150um热等静压
Cr99.95%>99.8%

<200um

<100um

热等静压
Cr99.99%>99.8%<100um热等静压

尺寸

Size(mm)

Φ301*12 / Φ160×12 / Φ100×32 / Φ105×16 / Φ63×32

170*75*12 / 656*133*12 / 1701*132*12

长度最高可达1800mm,直径最高可达340mm


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来自六九新材