量产配套量检测系统解决方案
作为设备方案的补充，拓荆键科开发专用计量与缺陷检测模块，集成于沉积/键合设备或独立部署，实现薄膜厚度、应力、界面形貌等参数的实时监控。系统采用光学/电子量测技术，支持标准半导体量测协议（如SECS/GEM），确保全流程质量控制闭环。
三维集成键合设备解决方案
针对先进封装与异构集成需求，拓荆键科提供硅通孔(TSV)、混合键合(Hybrid Bonding)等成套设备，实现晶圆级高精度对准、键合及后处理。方案支持多种键合模式（如金属-金属键合、氧化物融合键合），并具备原位清洗与激活功能，适用于2.5D/3D IC集成制造。
薄膜沉积设备解决方案
拓荆键科提供化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)等薄膜沉积设备组合，覆盖半导体制造中绝缘层、金属层等多种薄膜的高精度沉积需求。设备适用于前沿制程节点，支持从纳米级薄膜到复杂多层结构的沉积，整合了先进的工艺控制与均匀性优化技术。
融资次数
1
员工数量
100-499人
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用设备制造；电子专用设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；销售代理；非居住房地产租赁(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。许可项目：货物进出口；技术进出口(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准)。
主营业务
高端半导体专用设备的研发、生产与销售，核心产品包括薄膜沉积设备、三维集成键合设备及配套量检测设备
拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
其他有限责任公司
￥1,068万
2020-09-30
刘静
0573-87679887
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浙江省海宁经济开发区芯中路8号3幢