多维度薄膜量检测技术
基于光谱椭偏仪与激光散射技术开发的全自动膜厚测量系统，采用机器学习算法实现多膜层反演解析（支持30层膜堆栈），测量重复性达0.1Å。晶圆形貌检测模块结合双模式AFM（原子力显微镜）与白光干涉仪，实现0.15nm分辨率的三维表面重构。
先进键合设备技术
三维堆叠键合设备实现晶圆级混合键合（Hybrid Bonding），通过超精密晶圆对准系统（精度±200nm）与低温等离子活化技术，配合纳米级表面粗糙度控制（Ra<0.5nm），实现Cu-Cu直接键合与SiO₂介质共价键合。集成在线红外光谱仪实时检测键合界面空洞缺陷率（<0.01%）
薄膜沉积设备技术
拓荆科技核心产品PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）及SACVD（次常压化学气相沉积）设备，采用多反应腔同步处理架构与自适应等离子体控制技术，实现纳米级膜厚均匀性控制（±1.5%）及高台阶覆盖率（>95%）。创新性集成原位光学测量模块，可实时监控薄膜应力与折射率参数。
融资次数
1
员工数量
100-499人
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；电子专用设备制造；电子专用设备销售；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；机械零件、零部件加工；机械零件、零部件销售；销售代理；非居住房地产租赁(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)。许可项目：货物进出口；技术进出口(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结果为准)。
主营业务
高端半导体专用设备的研发、生产与销售，核心产品包括薄膜沉积设备、三维集成键合设备及配套量检测设备
拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司
其他有限责任公司
￥1,068万
2020-09-30
刘静
pr@hnpiotech.com
浙江省海宁经济开发区芯中路8号3幢