制程控制与良率管理系统
整合硬件检测数据和软件平台（如Klarity平台），通过大数据分析和人工智能，实现实时监控、预测性诊断和良率优化。收集多站点生产数据，提供可视化报告，帮助企业改进制造流程。
计量与量测解决方案
提供高精度测量设备（如Archer系列CD-SEM），用于非破坏性地测量晶圆的关键尺寸、overlay偏差、表面形貌等参数。结合先进算法，确保数据准确性，适用于先进制程节点的半导体制造。
缺陷检测系统
采用光学或电子束技术（如Surfscan系列），检测半导体晶圆表面的缺陷，包括微粒污染、图案异常和粒子缺陷。应用于半导体制造的光刻和蚀刻等工艺步骤，通过实时扫描和分析，识别潜在问题，确保晶圆质量。
美股代码
KLAC
员工数量
100-499人
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发，提供相关工程程序控制和生产管理解决方案，软件开发，提供相关技术转让和技术咨询服务，机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
半导体制造过程控制与良率管理解决方案
科磊半导体设备技术（上海）有限公司
有限责任公司(外国法人独资)
$400万
2004-06-02
VIRENDRA ARVIND KIRLOSKAR
021-38619788
jacy.gao@kla.com
中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路887弄79、80号，5号楼一楼