华虹半导体先进封装质量提升
科磊半导体为华虹半导体提供多款计量和检测设备,包括ICOS系列和5D Analyzer系统,用于先进封装技术节点。具体服务涉及自动缺陷识别和三维测量,帮助华虹在封装过程中实时监控焊点质量、减少overlay误差,优化制程窗口,最终提高封装良率超过15%。该案例基于华虹半导体与KLA的合作公告和技术白皮书。
长江存储3D NAND闪存制程优化
在长江存储的3D NAND闪存生产线中,科磊半导体部署了Puma光学检测工具和光谱椭偏仪,进行缺陷检查和膜厚计量。具体服务包括为每一个生产步骤提供实时数据反馈,通过KLA的良率管理系统优化制程参数,使长江存储在量产初期即实现缺陷控制能力的提升,从而提高产品可靠性并降低报废率。该信息来源于行业报道和KLA在中国的业务案例分享。
中芯国际14纳米制程缺陷检测项目
科磊半导体为中芯国际(SMIC)提供Surfscan和eDR-7xxx系列缺陷检测系统,支持其在14纳米制程节点的批量生产。具体做法是通过在线光学检测技术实时监控晶圆表面缺陷,结合自动分类软件减少误判,帮助SMIC将缺陷率降低超过20%,提升良率和产能效率。该案例基于KLA与中芯国际的公开合作记录和行业报告。
美股代码
KLAC
员工数量
100-499人
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发,提供相关工程程序控制和生产管理解决方案,软件开发,提供相关技术转让和技术咨询服务,机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
半导体制造过程控制与良率管理解决方案
科磊半导体设备技术(上海)有限公司
有限责任公司(外国法人独资)
$400万
2004-06-02
VIRENDRA ARVIND KIRLOSKAR
021-38619788
jacy.gao@kla.com
中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路887弄79、80号,5号楼一楼