为华力微电子提供先进封装光刻技术
上海微电子装备公司为上海华力微电子有限公司提供了先进封装专用的光刻机设备，用于高密度互连（HDI）和晶圆级封装（WLP）工艺。该设备在客户的生产线上支持精密曝光功能，用于封装基板的图形形成，实现微米级精度，提升了封装良率和良品率。华力微电子借此优化了其先进封装技术，服务于消费电子和通信设备领域的需求。
为中芯国际提供90纳米光刻机成熟工艺生产
上海微电子装备公司向中芯国际集成电路制造有限公司（SMIC）交付了90纳米SSA600系列光刻机，用于其在上海晶圆厂的成熟工艺制程生产线。该设备在芯片制造过程中承担关键曝光任务，支持包括对准、光源校准和图形蚀刻等步骤，帮助中芯国际实现高效量产汽车电子、物联网传感器等芯片产品。这一合作显著提升了生产效率，降低了对进口设备的依赖。
向长江存储提供光刻机用于3D NAND闪存生产
上海微电子装备公司为长江存储科技有限责任公司（YMTC）提供了自主研发的SSX600系列光刻机设备，用于其128层3D NAND闪存芯片的量产过程。该设备在制造环节中负责精密对准和曝光工艺，支持微米级精度的图形转移，提高了芯片的良率和产能。通过这项服务，长江存储成功提升了国内闪存芯片的自给能力，满足了中国本土存储市场的需求。
融资次数
4
员工数量
1000-4999人
专利数量
2937
经营范围
半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需的机械设备、零配件、原辅材料的进口业务（但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外）。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
专注于半导体装备、泛半导体装备及高端智能装备的开发、设计、制造、销售和技术服务，主要产品包括光刻机和其他核心制造设备，服务于集成电路、封装、显示等先进制造领域。
上海微电子装备（集团）股份有限公司
股份有限公司(非上市、国有控股)
￥2.6612亿
2002-03-07
干频
021-51315131
xiayj@smee.com.cn
中国（上海）自由贸易试验区张东路1525号