公司简介
拓荆科技股份有限公司成立于2010年4月，是国家高新技术企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售与技术服务。公司多次获评中国半导体行业协会授予的“中国半导体设备五强企业”称号。公司在北京、上海、海宁、沈阳和美国及日本成立子公司。
公司主要产品包括等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层沉积(ALD)设备、次常压化学气相沉积(SACVD)设备、高密度等离子体化学气相沉积(HDPCVD)设备、超高深宽比沟槽填充（Flowable CVD）设备和先进键合(W2W / D2W Hybrid Bonding) 设备以及相关量测设备等系列，拥有自主知识产权，技术指标达到国际同类产品的先进水平。产品主要应用于集成电路晶圆制造、 先进存储和先进封装、HBM、MEMS、Micro-LED 和 Micro-OLED 显示等高端技术领域。
公司产品已进入北京、上海、武汉、合肥、天津、台湾等20多个地区的70多条生产线，并设有技术服务中心，为客户提供每周7天，每天24小时的技术服务。 公司已形成一支国际化的专业团队，具备高科技研发实力及管理经验。通过多年技术积累，公司已建立自主知识产权的核心技术群及知识产权体系，被国家知识产权局评为“国家知识产权示范企业(2022-2025)”。
公司已形成一支国际化的专业团队，具备高科技研发实力及管理经验。通过多年技术积累，公司已建立自主知识产权的核心技术群及知识产权体系，被国家知识产权局评为“国家知识产权示范企业(2019-2022)”。
公司总部坐落于沈阳市浑南区，拥有现代化办公大楼及高等级洁净厂房，总建筑面积达40,000平方米，已投资近十亿建设上海二厂，同时投入十多亿筹建沈阳二厂。目前公司生产能力可以满足生产需求。公司已通过ISO9001、ISO14001、ISO45001体系的认证，并拥有覆盖全球的供应商网络。
拓荆公司愿与业界伙伴建立真诚、友好、共赢的产业合作联盟，为中国及世界半导体产业的发展做出贡献。
核心团队
吕
吕光泉
董事长&d董事
刘
刘静
董事&总经理
尹
尹志尧
董事
杨
杨柳
董事
齐
齐雷
董事
细分行业
A股代码
688072.SH
专利数量
684
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广，电子专用设备制造，电子专用设备销售，半导体器件专用设备制造，半导体器件专用设备销售，机械零件、零部件加工，机械零件、零部件销售，销售代理，非居住房地产租赁（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
拓荆科技的核心业务是研发、生产和销售半导体薄膜沉积设备，如PECVD和ALD设备，专注于支持集成电路、先进封装、OLED显示和3D NAND存储器等高端技术领域的制造过程。
拓荆科技股份有限公司
股份有限公司（外商投资、上市）
￥1.8819亿
2010-04-28
刘静
024-24188000
mingyue.guo@piotech.cn
辽宁省沈阳市浑南区水家900号