特殊工艺定制化静电卡盘应用解决方案
海拓创新公司基于丰饶行业经验和技术积累，为特殊工艺及条件需求设计和提供定制静电卡盘系统，满足多样化应用场景，如纳米压印和键合工艺。
静电卡盘国产化二元替代与改造解决方案
针对再生半导体设备领域，海拓创新公司提供静电卡盘系统的国产化二元替代服务，通过技术改造现有静电卡盘系统，适配第三代半导体制造的卡脖子需求，实现高效系统集成。
半导体静电卡盘系统交付解决方案
海拓创新公司提供从设计、生产到交付的全套静电卡盘系统服务，覆盖4寸至12寸晶圆尺寸，率先实现半导体关键零部件的国产化突破，特别是在第三代化合物半导体领域已实现规模化交付。
融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
15
经营范围
一般项目：物联网技术研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；电子真空器件制造；工业机器人制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子真空器件销售；工业机器人销售；智能控制系统集成；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体静电卡盘的研发、制造及系统集成解决方案
广东海拓创新技术有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2018-04-26
刘斌
gavin@e-chuck.com
浙江省杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢524号