静电卡盘辅助执行系统
该系统是静电卡盘的配套技术，包括晶圆升降、对中、冷却和气体分布模块，集成了智能传感和反馈控制。创新点在于国产化集成能力，支持定制化适配各种半导体设备（如再生设备和科研系统），采用模块化设计实现快速升级和维修。关键技术包括气膜冷却优化、真空密封精确控制，以及实时监控系统（利用压力和温度传感器），确保在高吞吐量制造中的性能稳定性。
静电卡盘技术
静电卡盘是海拓创新的核心技术，基于静电力吸附原理用于在半导体设备中固定晶圆，实现高精度、无接触夹持。创新点包括：国产化设计制造（打破国际技术垄断），支持4寸至12寸晶圆规格，专门优化用于第三代半导体材料如GaN和SiC的化合物半导体工艺。核心技术涉及多层电极结构设计、电荷控制机制（如双极或约翰逊-拉贝克效应），以及热管理集成（实现温度均匀性±0.5℃），适应高真空和等离子体环境。
融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
15
经营范围
一般项目：物联网技术研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；电子真空器件制造；工业机器人制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子真空器件销售；工业机器人销售；智能控制系统集成；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体静电卡盘的研发、制造及系统集成解决方案
广东海拓创新技术有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2018-04-26
刘斌
gavin@e-chuck.com
浙江省杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢524号