静电卡盘辅助执行系统
该系统作为静电卡盘的关键配套组件，主要用于支持静电卡盘的运行和功能实现。海拓创新通过自身技术积累，实现了该系统的国产化制造，提供从系统集成到方案解决的全套支持。它用于确保静电卡盘在高精度半导体设备中的稳定性和可靠性，应用领域覆盖刻蚀、注入、沉积等制程，同时可改造和适配第三代半导体制造的特殊要求。
静电卡盘系统
海拓创新的核心产品，专注于为半导体制造设备提供静电夹持解决方案。该系统包括适用于4寸至12寸半导体晶圆制造（FAB）的多种尺寸规格，已实现国产化制造和应用。设计上基于自主研发技术，满足等离子刻蚀、离子注入、气相沉积、纳米压印、键合及临时键合等制程的需求。该系统在第三代化合物半导体领域实现了规模化交付，为国产半导体设备制造商提供适配和优化服务，解决了关键零部件的国产替代问题。
融资次数
1
员工数量
小于50人
专利数量
15
经营范围
一般项目：物联网技术研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；电子真空器件制造；工业机器人制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子真空器件销售；工业机器人销售；智能控制系统集成；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
半导体静电卡盘的研发、制造及系统集成解决方案
广东海拓创新技术有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
2018-04-26
刘斌
gavin@e-chuck.com
浙江省杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢524号