海拓创新 - 公司详情 - 业务介绍

特种工艺解决方案

为半导体设备商及科研机构提供特殊工艺条件下的静电卡盘定制方案，涵盖等离子刻蚀、离子注入、气相沉积、纳米压印、键合等制程需求。

半导体设备改造

在再生设备领域实现静电卡盘国产化二元替代，改造现有系统以适配第三代半导体制造需求，包括工艺参数调整和系统集成优化。

静电卡盘系统制造

专注4-12寸半导体晶圆厂静电卡盘国产化制造，覆盖第三代化合物半导体领域，具备自主设计能力和规模化交付实绩，打破半导体关键零部件技术封锁。

科创行业

高端装备智能制造

融资次数

员工数量

小于50人

专利数量

经营范围

一般项目：物联网技术研发；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；电子真空器件制造；工业机器人制造；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；电子真空器件销售；工业机器人销售；智能控制系统集成；货物进出口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

主营业务

半导体静电卡盘的研发、制造及系统集成解决方案

公司全称

广东海拓创新技术有限公司

公司类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

成立时间

2018-04-26

法定代表人

刘斌

邮箱

gavin@e-chuck.com

网址

http://www.seatools-tech.com/

地址

浙江省杭州市富阳区春江街道富春湾大道2723号17幢524号