CVD反应腔核心零部件定制解决方案
该解决方案提供专为半导体外延设备设计的石墨和SiC涂层零部件，包括加热器、基座和腔室内衬等。志橙半导体基于5年独立研发的CVD SiC技术，实现了组件的自主生产和优化，应用于集成电路硅外延、LED GaN外延和第三代半导体SiC外延的生产。重点提升零部件在高温、腐蚀环境下的耐久性，减少生产过程中的缺陷率。
碳化硅外延材料供应解决方案
志橙半导体提供高性能SiC外延材料，用于半导体制造设备中的反应腔，专注于化学气相沉积（CVD）技术。该解决方案包括SiC外延片、石墨盘等核心组件，支持硅外延、GaN外延和SiC外延的规模化生产。通过自主开发的CVD设备和工艺，确保材料的纯度、均匀性和稳定性，可直接集成于客户的生产线中。
融资次数
4
员工数量
-
专利数量
19
经营范围
一般经营项目是：研发、设计、销售：电子元器件、半导体产品、化合物半导体产品、光学电子产品、太阳能产品、金属材料和金属化合物材料；非危险性化学品的销售、半导体器件生产设备的销售、维护、维修服务；提供商务咨询服务。自营和代理各类商品及技术的进出口业务（国家限定企业经营或禁止进出口的商品和技术除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动），许可经营项目是：电子元器件、半导体产品、化合物半导体产品、光学电子产品、太阳能产品、金属材料和金属化合物材料的制造。
主营业务
半导体外延材料供应商，专注于为晶圆生产设备（如反应腔）提供零部件，覆盖集成电路硅外延、LED GaN外延和第三代半导体SiC外延的生产需求。
深圳市志橙半导体材料股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
2017-12-26
朱佰喜
yl@zcsemicon.com
深圳市宝安区松岗街道潭头社区健仓科技研发厂区办公楼307