自适应射频匹配技术
采用双通道闭环控制系统，实时监测等离子体阻抗变化。专利匹配网络（CN210984504U）结合机器学习算法，能在5ms内完成500W-5kW射频功率的自适应调节，确保等离子体密度稳定在±2%波动范围内
低温等离子体表面处理技术
通过特定射频功率与气体配比实现低温等离子体生成，工作温度控制在100°C以下。核心技术在于多区域分区温控电极设计和反应腔室对称性优化，可在亚微米尺度实现表面改性而不损伤衬底材料
融资次数
7
员工数量
50-99人
专利数量
94
主营业务
研发制造应用于化合物半导体、硅基半导体、先进封装及LED制造等领域的等离子体工艺设备，提供去胶、清洗、表面处理等核心工艺的整体解决方案
上海稷以科技有限公司
有限责任公司(外商投资企业与内资合资)
￥476万
2015-04-14
杨平
021-34125995
gong@jetplasma.com
上海市闵行区东川路555号戊楼4026室