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自动上下料，自动对位、自动测试
平坦度≤±5um,位置精度≤±0.1um
漏检率≤0.3%、过检率≤5%
自主开发软件算法，配置自动上报CIM功能
尺寸 长*宽*高： 2.5m *2.0m *2.2m
样品大小 510 x 515mm
相机 2.25um/x2,1.8um/x 2.5, 0.9um/x 5, 0.6um/x 7.5,0.45um/x 10x(4 out of 5)5x / 10x PL
检验精度 0.45 um
运动系统 采用高精度伺服电机，高精度滚珠螺杆，微米级
