半导体废水处理与回收技术
采用膜分离、离子交换和电化学方法处理高浓度有机废水及金属离子污染物，创新点在于模块化系统设计（实现资源回收率高达95%以上）和自动化监控平台（实时优化处理参数），保障循环利用的同时符合环保法规要求。
湿法清洗设备技术
基于多槽组合化学清洗与物理清洗集成工艺，核心技术包括原位智能控制系统（通过AI算法实时调整温度、pH值和清洗时间）和低残留流体设计（减少化学品残留），创新点为动态配方管理系统，适配不同晶圆表面特性，提升清洗效率并兼容高纵横比结构。
高纯工艺系统技术
提供超高纯气体、化学品和液体的供给、分配与回收解决方案，核心创新在于材料科学（如特种合金和聚合物减少静电吸附）和流体动力学优化设计（实现死角最小化和均匀流速控制），确保介质纯度优于SEMI标准F20，显著降低颗粒污染物引入风险。
细分行业
A股代码
603690.SH
专利数量
278
经营范围
从事电子、光纤、生物工程及环保科技专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，水处理系统及洁净室厂房的设计、安装，技术咨询服务，机电产品、通信设备及相关产品、仪器仪表、计算机及配件、建筑材料、不锈钢制品的销售，机电设备安装（除专控），机械设备的生产（限紫海路170号2幢）、设计及加工，从事货物及技术的进出口业务，质检技术服务，计量器具修理，从事计量校准科技专业领域内技术咨询、技术服务、技术开发、技术转让，计量器具、仪器仪表批发零售。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
高端半导体设备研发、生产和销售
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
股份有限公司(上市、自然人投资或控股)
￥3.8672亿
2000-11-13
蒋渊
021-80238200
wangjiayun@pncs.cn
上海市闵行区紫海路170号