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半导体废水处理与回收技术
采用膜分离、离子交换和电化学方法处理高浓度有机废水及金属离子污染物,创新点在于模块化系统设计(实现资源回收率高达95%以上)和自动化监控平台(实时优化处理参数),保障循环利用的同时符合环保法规要求。
湿法清洗设备技术
基于多槽组合化学清洗与物理清洗集成工艺,核心技术包括原位智能控制系统(通过AI算法实时调整温度、pH值和清洗时间)和低残留流体设计(减少化学品残留),创新点为动态配方管理系统,适配不同晶圆表面特性,提升清洗效率并兼容高纵横比结构。
高纯工艺系统技术
提供超高纯气体、化学品和液体的供给、分配与回收解决方案,核心创新在于材料科学(如特种合金和聚合物减少静电吸附)和流体动力学优化设计(实现死角最小化和均匀流速控制),确保介质纯度优于SEMI标准F20,显著降低颗粒污染物引入风险。
细分行业
A股代码
603690.SH
专利数量
278
经营范围
从事电子、光纤、生物工程及环保科技专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,水处理系统及洁净室厂房的设计、安装,技术咨询服务,机电产品、通信设备及相关产品、仪器仪表、计算机及配件、建筑材料、不锈钢制品的销售,机电设备安装(除专控),机械设备的生产(限紫海路170号2幢)、设计及加工,从事货物及技术的进出口业务,质检技术服务,计量器具修理,从事计量校准科技专业领域内技术咨询、技术服务、技术开发、技术转让,计量器具、仪器仪表批发零售。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
高端半导体设备研发、生产和销售
公司全称
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
公司类型
股份有限公司(上市、自然人投资或控股)
注册资本
¥3.8672亿
成立时间
2000-11-13
法定代表人
蒋渊
电话
021-80238200
邮箱
wangjiayun@pncs.cn
地址
上海市闵行区紫海路170号