华虹半导体湿法清洗设备供应
至纯科技为华虹半导体提供了定制化湿法清洗设备和工艺支持，用于其上海12英寸晶圆厂的先进制程开发（90-45nm）。具体做法包括安装单片和槽式清洗机，优化表面清洁工序以减少微污染；通过实时监控和工艺调整，该项目将缺陷率降低30%，帮助客户提升产能至每月3万片晶圆水平。
长江存储高纯工艺系统项目
至纯科技为长江存储定制开发和部署了高纯化学品供应系统及湿法清洗设备，应用于其3D NAND闪存制造厂。具体实施中，至纯科技提供了全流程解决方案，包括系统设计、设备安装和质量控制，确保了化学品的纯度和供应稳定性；结果提升了生产线的良率至90%以上，支持了大规模量产和高性能存储芯片的稳定输出。
细分行业
A股代码
603690.SH
专利数量
278
经营范围
从事电子、光纤、生物工程及环保科技专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，水处理系统及洁净室厂房的设计、安装，技术咨询服务，机电产品、通信设备及相关产品、仪器仪表、计算机及配件、建筑材料、不锈钢制品的销售，机电设备安装（除专控），机械设备的生产（限紫海路170号2幢）、设计及加工，从事货物及技术的进出口业务，质检技术服务，计量器具修理，从事计量校准科技专业领域内技术咨询、技术服务、技术开发、技术转让，计量器具、仪器仪表批发零售。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
高端半导体设备研发、生产和销售
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
股份有限公司(上市、自然人投资或控股)
￥3.8672亿
2000-11-13
蒋渊
021-80238200
wangjiayun@pncs.cn
上海市闵行区紫海路170号