废气处理系统
针对半导体和工业过程产生的挥发性有机化合物（VOCs）和有毒气体设计的处理系统，包括热氧化器（Thermal Oxidizers）、湿式洗涤塔（Wet Scrubbers）和催化燃烧装置（Catalytic Converters）。系统通过热解或化学吸附方式高效去除污染物，确保排放合规和环境保护，适用于芯片厂、化工厂等高风险环境。
生物制药工艺系统
专为生物制药企业提供的高纯工艺设备和系统，如生物反应器纯化系统（Bioreactor Purification Systems）、液体输送系统（Liquid Handling Systems）和疫苗生产线集成方案。系统针对细胞培养、蛋白纯化和无菌制剂生产优化，确保流体处理的高纯度和生物兼容性，配备在线传感器和验证机制，符合GMP和FDA标准，应用于生物制剂、疫苗和基因治疗产品制造。
湿法工艺设备
包括单晶圆清洗机（Single Wafer Cleaners）、批量式清洗机（Batch Wet Stations）和化学机械抛光浆料系统（CMP Slurry Distribution Systems），专为半导体制造设计，用于晶圆清洗、蚀刻、表面处理和抛光。设备采用先进化学反应控制和温度管理，确保晶圆表面的高清洁度和工艺一致性，可支持12英寸及以上晶圆生产，适用于先进封装和IC制造。
高纯工艺系统
用于半导体、光伏和生物制药行业的高纯气体和化学品输送系统，包括气体输送柜（Gas Cabinets）、化学稀释系统（Chemical Blending Systems）和集中供应系统（Central Delivery Systems），确保物质输送过程中的超高纯度和稳定性，防止污染，应用于晶圆制造、药物生产等工艺环节。系统采用高纯度材料（如EP级管道）和精密控制技术，支持自动监控和远程操作。
细分行业
A股代码
603690.SH
专利数量
278
经营范围
从事电子、光纤、生物工程及环保科技专业领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务，水处理系统及洁净室厂房的设计、安装，技术咨询服务，机电产品、通信设备及相关产品、仪器仪表、计算机及配件、建筑材料、不锈钢制品的销售，机电设备安装（除专控），机械设备的生产（限紫海路170号2幢）、设计及加工，从事货物及技术的进出口业务，质检技术服务，计量器具修理，从事计量校准科技专业领域内技术咨询、技术服务、技术开发、技术转让，计量器具、仪器仪表批发零售。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
主营业务
高端半导体设备研发、生产和销售
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
股份有限公司(上市、自然人投资或控股)
￥3.8672亿
2000-11-13
蒋渊
021-80238200
wangjiayun@pncs.cn
上海市闵行区紫海路170号