全生命周期维保服务
提供设备安装调试、预防性维护、工艺优化及远程诊断等全流程服务解决方案。
激光直接成像(LDI)整合方案
综合激光成像技术的光刻系统，覆盖从微米到纳米尺度的多领域光刻需求，支持定制化配置。
泛半导体直写光刻设备
应用于半导体制造环节的纳米级无掩膜光刻系统，支持晶圆级直写曝光和先进封装光刻工艺。
PCB直接成像设备及自动线系统
基于微纳直写光刻技术，在印刷电路板制造中实现高精度图形直接成像，通过自动线系统提升批量生产效率。
A股代码
688630.SH
员工数量
100-499人
专利数量
306
经营范围
集成电路、印刷电路、平板显示、平板印刷、新能源工业领域的高端制造装备及软硬件产品的研发、生产、销售；自营和代理各类商品的进出口业务（国家法律法规限定或禁止的除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
微纳直写光刻设备的研发、制造、销售及售后维保服务
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥1.3142亿
2015-06-30
程卓
0551-63823652
nlfeng@cfmee.cn
合肥市高新区长宁大道789号1号楼