售后维保服务
提供上述设备的售后维护、保养以及技术支持服务，包括设备校准、故障排除和性能优化，确保客户设备的长期可靠运行。
其他激光直接成像设备
芯碁微装还生产其他激光直接成像设备，服务于多领域光刻应用，如微纳加工和其他工业领域的光刻环节，扩展其技术在更广范围的成像需求。
泛半导体直写光刻设备及自动线系统
公司开发并销售面向半导体行业的直写光刻设备及自动线系统，涵盖从微米到纳米级的光刻过程，适用于集成电路、显示面板等泛半导体制造领域的光刻需求。
PCB直接成像设备及自动线系统
芯碁微装提供用于印刷电路板（PCB）行业的直接成像设备及自动化生产线系统，这些设备基于微纳直写光刻技术，实现高精度成像，服务于PCB光刻工艺中的微米级应用环节。
A股代码
688630.SH
员工数量
100-499人
专利数量
306
经营范围
集成电路、印刷电路、平板显示、平板印刷、新能源工业领域的高端制造装备及软硬件产品的研发、生产、销售；自营和代理各类商品的进出口业务（国家法律法规限定或禁止的除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
微纳直写光刻设备的研发、制造、销售及售后维保服务
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥1.3142亿
2015-06-30
程卓
0551-63823652
nlfeng@cfmee.cn
合肥市高新区长宁大道789号1号楼