微纳直写光刻技术
一种直接成像光刻技术，利用光源（如激光）在基板上直接投影形成电路图案，无需传统掩模，分辨率覆盖微米至纳米级别。核心技术聚焦于直写设备，实现高精度、灵活的微纳结构加工，通过数字控制实时调整成像参数。
A股代码
688630.SH
员工数量
100-499人
专利数量
306
经营范围
集成电路、印刷电路、平板显示、平板印刷、新能源工业领域的高端制造装备及软硬件产品的研发、生产、销售；自营和代理各类商品的进出口业务（国家法律法规限定或禁止的除外）。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
微纳直写光刻设备的研发、制造、销售及售后维保服务
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥1.3142亿
2015-06-30
程卓
0551-63823652
nlfeng@cfmee.cn
合肥市高新区长宁大道789号1号楼