半导体制程废气高效处理解决方案
该解决方案利用京仪装备的废气处理装置系列产品（Local Scrubber），针对半导体、LED和LCD制造中产生的化学废气（如蚀刻气体、挥发性有机化合物），进行高效过滤和净化。系统采用多级过滤技术，去除率可达99.9%，确保符合环保标准，保护生产环境和人员健康。
晶圆自动化分选与搬运解决方案
该解决方案使用京仪装备的机器人系列产品（Wafer Sorter/AMR），实现晶圆和物料的自动化分选、搬运与存储，适用于半导体FAB产线的高效运作。核心技术包括机器视觉引导分选精度达微米级，AMR支持自主导航和避障，提升生产连续性和安全性，并减少人工错误率。
半导体制造精密温控解决方案
该解决方案基于京仪装备的半导体温控装置系列产品（Chiller），提供高精度温度控制，用于半导体制造、LED和LCD生产过程中的关键设备冷却，确保工艺稳定性并延长设备寿命。核心功能包括温度范围在-40°C至80°C的可调节控制，支持实时监测和自动化调节，减少热波动对晶圆质量的影响。
细分行业
A股代码
688652.SH
员工数量
100-499人
专利数量
364
经营范围
技术推广服务；销售、维修机器人、机械设备、电气设备；货物进出口、技术进出口；生产机器人、机械设备、电气设备。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
专注于研发、生产和销售高端自动化装备，主要包括半导体温控装置、晶圆搬运机器人和废气处理设备，服务于半导体、LED和LCD等精密制造行业的关键设备需求。
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥1.68亿
2016-06-30
沈洪亮
010-58917300
hr@baecltd.com.cn
北京市北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座