废气处理装置系列（Local Scrubber）
专用于半导体制造中产生的有害废气处理，通过化学或物理方法清除酸气、有机溶剂等污染物，确保符合环境排放标准。应用于晶圆蚀刻和清洗工序，降低生产对环境的负面影响并保障操作人员安全。
机器人系列（Wafer Sorter/AMR）
包括晶圆搬运机器人和自动移动机器人（AMR），实现晶圆的自动传输、分类和存储操作，支持无尘室环境下的高效生产。主要用于自动化晶圆处理环节，提高半导体制造线的自动化程度和吞吐量。
半导体温控装置系列（Chiller）
该系列设备用于半导体制造过程中的精密温度控制，确保晶圆在刻蚀、沉积等关键工艺中的稳定性和效率。典型产品包括循环冷却系统，广泛应用于半导体fab厂的设备冷却需求，提升工艺良率并减少能耗。
A股代码
688652.SH
员工数量
100-499人
专利数量
364
经营范围
技术推广服务；销售、维修机器人、机械设备、电气设备；货物进出口、技术进出口；生产机器人、机械设备、电气设备。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
专注于研发、生产和销售高端自动化装备，主要包括半导体温控装置、晶圆搬运机器人和废气处理设备，服务于半导体、LED和LCD等精密制造行业的关键设备需求。
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥1.68亿
2016-06-30
沈洪亮
010-58917300
hr@baecltd.com.cn
北京市北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座