废气高效处理技术
废气处理装置（Local Scrubber）应用化学催化分解和纳米吸附技术，针对HF、Cl2等有毒气体处理效率超99%；创新点包括多级过滤系统和智能监控模块，确保排放符合国际标准如SEMI S2。
自动晶圆搬运技术
机器人系列（Wafer Sorter/AMR）整合视觉识别系统和动态路径规划算法，实现高速度（最高200片/小时）与亚微米级定位精度；核心技术包括智能防撞机制和模块化机械臂设计，创新点在于实时数据处理减少晶圆缺陷风险。
精密温度控制技术
京仪装备的半导体温控装置（Chiller）采用高效热交换器设计和先进PID控制算法，实现微米级温度稳定性（±0.1°C），关键创新点包括多区域同步调控和低噪音运行，确保晶圆制造过程的热环境均匀与高效。
细分行业
A股代码
688652.SH
员工数量
100-499人
专利数量
364
经营范围
技术推广服务；销售、维修机器人、机械设备、电气设备；货物进出口、技术进出口；生产机器人、机械设备、电气设备。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
专注于研发、生产和销售高端自动化装备，主要包括半导体温控装置、晶圆搬运机器人和废气处理设备，服务于半导体、LED和LCD等精密制造行业的关键设备需求。
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
其他股份有限公司(上市)
￥1.68亿
2016-06-30
沈洪亮
010-58917300
hr@baecltd.com.cn
北京市北京经济技术开发区凉水河二街8号院14号楼A座