ALN加热器技术
ALN加热器技术基于氮化铝（AlN）陶瓷材料的高热导率和低热膨胀系数，提供高效的加热解决方案。核心技术包括AlN基材的复合涂层制备、热响应模型优化和翻新修复工艺，重点在于增强热传递效率与抗热震能力。创新点体现为纳米级表面处理以提高热均匀性，以及可持续的翻新流程，延长设备寿命并降低废弃率。
静电吸盘（ESC）技术
静电吸盘是半导体制造设备中的关键组件，用于在真空环境中通过静电力吸附和固定晶圆。核心技术包括多区电极布局、陶瓷绝缘材料优化和嵌入式温度传感器集成，以实现高精度的晶圆定位和均匀热分布。创新点突出在真空兼容性提升和动态吸附力的自适应控制，减少晶圆翘曲和滑移风险。