剥离液
用于光刻胶去除的专用化学品,可兼容不同制程节点(涵盖28nm至先进封装)。通过有机胺复合配方实现高效率剥离,同时防止对金属层(如铜、铝)和低k介质的损伤。
蚀刻液
包含酸性及碱性蚀刻液系列,针对不同材料(如硅、铜、铝)进行微米级精度蚀刻。主要应用于半导体前道制程中的图形化蚀刻步骤,通过控制蚀刻速率和选择比实现精准线路成形。
电子级双氧水
高纯度氧化剂,应用于集成电路和光伏电池片的清洗工艺,有效去除有机残留物及颗粒污染物。产品符合SEMI C12标准,金属离子含量低于1ppb,适用于先进制程的RCA清洗技术。
电子级硫酸
用于半导体晶圆制造中的清洗工序,通过超纯化处理去除金属杂质,满足G5级标准。典型应用于硅片表面处理及光伏电池制程中的去胶和蚀刻后清洗,浓度涵盖98%及以上高纯级别。