负胶光刻技术
针对Lift-off工艺,开发了高黏着性橡胶基光刻胶,采用环化橡胶系配方优化了负胶的抗刻蚀性能。技术特色包括添加剂的可控释放系统,确保显影后边缘平滑,提高器件成品率。
G/I线正胶集成生产技术
结合宽谱紫外线波段,开发了多级光敏聚合物体系,优化了涂布和显影工艺,提升了产能和一致性。技术包括溶剂配方的创新,减少了膜层应力,适用于高深宽比结构制造,支持国产化大规模生产。
KrF光刻胶配方技术
科华微电子专注于248nm波长光刻胶的研发,采用专利的树脂基体和光敏剂系统,实现了高分辨率(可达100nm级别)和曝光敏感度的提升。该技术通过精确调控高分子材料的分子量和交联度,减少了光刻过程中的缺陷密度,并实现了光致酸剂的稳定释放,是国产高端光刻胶产业化的重要突破。
融资次数
7
员工数量
100-499人
专利数量
36
经营范围
一般项目:电子专用材料制造;电子专用材料销售;电子专用材料研发;化工产品销售(不含许可类化工产品);专用化学产品销售(不含危险化学品);包装材料及制品销售;气体、液体分离及纯净设备销售;货物进出口;进出口代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)许可项目:检验检测服务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准)(不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
主营业务
光刻胶及配套试剂的研发、生产、销售与服务