气体流量控制系统
核心技术涉及精密气体流量控制，采用MEMS-based流量传感器和闭环控制算法，实现气体流量调节精度±1%。创新点包括自适应压力补偿功能确保流量稳定，支持多气体（如氩气、氮气、氧气）兼容，并通过数字接口实现远程监控和自动化集成，提升系统响应速度和控制精度。
真空获得系统
该技术提供高效真空环境，结合干泵和涡旋泵技术，实现高真空度（极限真空可达10^-6 Pa级）和快速抽速。创新点在于应用智能控制系统优化泵组协同工作，减少振动和噪音，并提升能效比。支持无油运行，减少污染风险，适用于半导体和精密制造。
射频电源技术
恒运昌的核心技术专注于射频（RF）电源系统的研发与设计，该技术用于在真空环境中生成高频等离子体，频率范围通常覆盖13.56MHz及更高频段。创新点包括采用数字信号处理（DSP）控制算法优化功率输出稳定性，实现低纹波（纹波系数<1%）和高效率（转换效率>95%），并通过模块化设计提升可扩展性和抗干扰能力。该技术突破了中国在半导体级射频电源的卡脖子难题，成功实现国产替代，产品性能已与国际领先水平媲美。
融资次数
3
员工数量
-
专利数量
179
经营范围
一般经营项目是：真空设备、真空离子电源、新能源材料、半导体设备、气体质量流量计、真空泵、阴极、靶材、机电产品的技术开发、技术咨询与销售；真空设备租赁;国内贸易，货物及技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：提供真空设备维修服务；生产工业电源；成品油批发（不含危险化学品）。
主营业务
等离子电源系统、真空获得系统和气体流量控制系统的研发、设计与智能制造，同时配套技术进出口服务，核心优势在于半导体级射频电源的突破性技术，实现批量生产并媲美国际先进水平。
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥5,077万
2013-03-19
乐卫平
0755-27813086
philip.le@csl-vacuum.com
深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301