服务长江存储（YMTC）在3D NAND闪存制造
2020年，恒运昌为长江存储（YMTC）提供射频电源系统，主要用于3D NAND闪存生产中的薄膜沉积环节。该系统通过优化气体流量控制和射频输出稳定性，确保了纳米级沉积薄膜的均匀性，减少了工艺缺陷和颗粒污染。此举助力长江存储在192层3D NAND技术研发中提升了良率和生产效率，推动了国产存储芯片的产业化进程。
服务中芯国际（SMIC）在先进制程生产
恒运昌于2019年为中芯国际（SMIC）提供自主研发的射频电源系统，用于14纳米及以下先进芯片制程中的等离子蚀刻工艺。通过其高精度电源控制技术（频率波动低于1%），解决了蚀刻过程中的功率不稳定问题，提升了晶圆蚀刻均匀性，最终帮助SMIC提高芯片良率约5%，并实现国产半导体级设备在高端制造中的首次批量应用。
融资次数
3
员工数量
-
专利数量
179
经营范围
一般经营项目是：真空设备、真空离子电源、新能源材料、半导体设备、气体质量流量计、真空泵、阴极、靶材、机电产品的技术开发、技术咨询与销售；真空设备租赁;国内贸易，货物及技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：提供真空设备维修服务；生产工业电源；成品油批发（不含危险化学品）。
主营业务
等离子电源系统、真空获得系统和气体流量控制系统的研发、设计与智能制造，同时配套技术进出口服务，核心优势在于半导体级射频电源的突破性技术，实现批量生产并媲美国际先进水平。
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥5,077万
2013-03-19
乐卫平
0755-27813086
philip.le@csl-vacuum.com
深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301