技术进出口
公司同时负责等离子电源系统、真空获得系统和气体流量控制系统的技术进出口业务，支持国际技术合作与贸易，促进先进技术的引进和输出。
气体流量控制系统
恒运昌从事气体流量控制系统的研发与生产，提供高精度气体流量调节方案，用于半导体制程等工业控制场景，实现流量的稳定与精确管理。
真空获得系统
公司开展真空获得系统的研发、设计与制造，包括真空泵及相关设备的开发，支持半导体制造等领域的应用，确保高精度真空环境需求。
等离子电源系统
恒运昌专注于等离子电源系统特别是射频电源的研发设计与智能制造。其核心团队在射频电源领域拥有多年经验，已成功突破我国半导体级射频电源的关键技术瓶颈，实现批量生产，产品性能达到国际先进水平，服务于半导体及高端制造业。
融资次数
3
员工数量
-
专利数量
179
经营范围
一般经营项目是：真空设备、真空离子电源、新能源材料、半导体设备、气体质量流量计、真空泵、阴极、靶材、机电产品的技术开发、技术咨询与销售；真空设备租赁;国内贸易，货物及技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动），许可经营项目是：提供真空设备维修服务；生产工业电源；成品油批发（不含危险化学品）。
主营业务
等离子电源系统、真空获得系统和气体流量控制系统的研发、设计与智能制造，同时配套技术进出口服务，核心优势在于半导体级射频电源的突破性技术，实现批量生产并媲美国际先进水平。
深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
其他股份有限公司(非上市)
￥5,077万
2013-03-19
乐卫平
0755-27813086
philip.le@csl-vacuum.com
深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101，201，301