半导体衬底检测与设备开发技术
开发自主的晶体缺陷检测系统和衬底表征设备,如光学显微镜和电子探针分析工具,结合AI算法实现晶片质量的高通量分析。同时,自主研发PVT生长炉设备,通过智能控制和气体流场优化,实现生长过程的高效性和稳定性。创新点包括原位监测模块和热场均匀化设计,降低设备能耗并提高制程可靠性。
碳化硅晶片加工技术
涉及精密切割、研磨、化学机械抛光(CMP)和清洗工艺,通过亚表面损伤控制和表面粗糙度优化,实现晶片的超平整和低损伤率。创新点包括多步骤抛光序列和原位缺陷检测技术,确保晶片的高表面质量和加工稳定性,提高后续器件的良率。
碳化硅单晶生长技术
公司主要采用物理气相传输(PVT)法进行SiC单晶生长,通过优化温度梯度控制、气相成分和籽晶选择,减少微管缺陷和位错密度。创新点包括高均匀性生长界面设计和规模化晶体扩径技术,提升晶体的纯度和结晶质量,适用于6英寸及以上大尺寸衬底生产。
科创行业
融资次数
3
员工数量
50-99人
专利数量
36
经营范围
一般项目:电子专用材料制造;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;电子专用材料研发;工程和技术研究和试验发展;标准化服务;信息技术咨询服务;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件销售;电子专用设备销售;电子专用材料销售;电力电子元器件销售;货物进出口(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)。(分支机构经营场所设在:萧山区新街街道垦辉八路99号4幢西面1-3层(自主申报))
主营业务
公司以高性能碳化硅衬底产品的研发、生产和销售为核心,同时提供设备开发及相关技术服务,旨在为全球半导体客户提供低成本、高品质的第三代半导体材料解决方案。
杭州乾晶半导体有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥873万
2020-07-31
王明华
0571-83890560
sales@ivsemitec.com
浙江省杭州市萧山区宁围街道萧山区建设三路733号信息港五期一号楼205-2