高性能光刻胶技术
恒坤股份的核心技术之一是高性能光刻胶的研发与制造，专注于半导体光刻工艺。光刻胶作为光刻步骤的关键材料，通过精确的光化学反应在硅片上形成微细图案。恒坤的创新点包括：采用化学放大型光刻胶（Chemically Amplified Resists）配方，优化灵敏度以支持深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻光源；引入纳米级添加剂提升分辨率和粘附性，减少线宽粗糙度（LWR）；并利用高纯度合成工艺确保抗刻蚀性和热稳定性，满足先进制程如7nm及以下节点的技术要求。这些创新旨在实现高性能、低缺陷的光刻材料，支持芯片制造的最小关键尺寸（CD）优化。
融资次数
5
员工数量
100-499人
专利数量
64
经营范围
一般项目：新材料技术推广服务；集成电路制造；工程和技术研究和试验发展；电子专用材料制造；专用化学产品制造（不含危险化学品）；化工产品销售（不含许可类化工产品）；电子专用材料销售；机械设备销售；电子产品销售；非居住房地产租赁；货物进出口；企业管理咨询。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
恒坤股份的主营业务是基于半导体先进材料的研发、生产和销售，为客户提供集成电路芯片制造所需的高性能材料整体解决方案，专注于先进制程（如14nm、7nm）应用领域。
厦门恒坤新材料科技股份有限公司
股份有限公司(非上市、自然人投资或控股)
￥3.8192亿
2004-12-10
易荣坤
czm@hengkun.com
厦门市海沧区东孚镇山边路389号