半导体材料检测与清洗解决方案
鲁汶仪器的集成式晶圆清洗和表面缺陷检测设备，采用自动化清洁技术和非接触式测量方法，确保半导体材料在生产和研发过程中的无污染和高良品率。
原子层沉积（ALD）解决方案
基于鲁汶仪器的原子层沉积系统，提供超薄薄膜沉积能力，通过可控的原子级反应实现高质量功能薄膜沉积于半导体表面，支持多种材料体系如高K介电层。
等离子体蚀刻解决方案
鲁汶仪器提供的高精度等离子体蚀刻设备解决方案，利用先进的等离子体技术实现半导体晶圆的精细蚀刻，支持复杂结构加工，确保蚀刻精度在纳米级别，适用于先进工艺开发。
融资次数
9
员工数量
100-499人
专利数量
378
经营范围
精密仪器、电工机械专用设备、电子工业专用设备、光学仪器、变压器、整流器和电感器、电容器及其配套设备、配电开关控制设备、电力电子元器件、光伏设备及元器件、信息化学品、集成电路、数模集成电路、混合集成电路、无源集成元件、通用和专用仪器仪表研发、设计、制造，服务及销售；仪表仪器修理；软件开发；信息技术咨询服务；专利服务；国际、国内贸易代理服务；质检技术服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
半导体精密设备研发、生产和销售，以及配套技术服务
江苏鲁汶仪器股份有限公司
股份有限公司（外商投资、未上市）
￥1.4918亿
2015-09-11
许开东
jinzhi.liu@leuven-instruments.com
邳州经济开发区辽河西路8号