高分辨率材料分析技术
整合了微探针扫描和光谱分析，提供非破坏性、原位检测能力。核心技术采用先进原子力显微镜（AFM）和光学检测模块，实现材料形貌、缺陷的纳米级分辨率分析。创新点在于多模态数据融合技术，能同时获取电气、热学和力学特性，支持快速缺陷定位和材料失效分析。
等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术
基于模块化平台，结合原位监控和气体流优化技术，实现高质量薄膜沉积。核心技术特征包括低能等离子体生成和反应腔均温设计，可沉积低应力、高致密硅基薄膜。创新点在于集成AI算法进行工艺参数实时优化，确保薄膜厚度均匀性小于±3%，适用于复杂三维结构涂层。
高精度等离子体刻蚀技术
该技术采用创新的等离子源设计和闭环控制算法，实现纳米级刻蚀精度和优异选择比。核心技术包括多区均匀性控制和非对称电极设计，显著提升晶圆刻蚀均匀性和工艺稳定性。创新点在于兼容先进节点（如5nm以下），支持高深宽比结构加工，并通过自适应工艺优化减少缺陷产生。
融资次数
9
员工数量
100-499人
专利数量
378
经营范围
精密仪器、电工机械专用设备、电子工业专用设备、光学仪器、变压器、整流器和电感器、电容器及其配套设备、配电开关控制设备、电力电子元器件、光伏设备及元器件、信息化学品、集成电路、数模集成电路、混合集成电路、无源集成元件、通用和专用仪器仪表研发、设计、制造，服务及销售；仪表仪器修理；软件开发；信息技术咨询服务；专利服务；国际、国内贸易代理服务；质检技术服务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
半导体精密设备研发、生产和销售，以及配套技术服务
江苏鲁汶仪器股份有限公司
股份有限公司（外商投资、未上市）
￥1.4918亿
2015-09-11
许开东
jinzhi.liu@leuven-instruments.com
邳州经济开发区辽河西路8号