高能离子注入系统
烁科中科信的离子注入机解决方案专注于半导体制造中的高精度离子注入工艺。该系统采用先进离子源技术，支持多种离子种类（如硼、磷、砷），提供高束流密度和控制精度（最高能量可达800keV），适用于65nm及以上工艺节点的芯片批量生产。核心功能包括自动校准系统、工艺参数优化和实时监控，确保在晶圆加工中实现精确的杂质注入，以满足高性能集成电路的需求。
融资次数
2
员工数量
-
专利数量
132
经营范围
半导体器件专用设备制造；软件开发；基础软件服务；应用软件服务；计算机系统服务；技术开发、技术转让、技术推广、技术服务、技术咨询；货物进出口；技术进出口；代理进出口。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本区产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
半导体器件专用设备制造，特别是离子注入机等高端设备，专注于半导体制造关键设备的国产化研发、生产和销售。
北京烁科中科信电子装备有限公司
其他有限责任公司
￥2.2224亿
2019-06-17
王平
010-81500712
zhangm@semicorezkx.com
北京市北京经济技术开发区荣华中路19号院1号楼B座20层102-2002室