高能量离子注入机
烁科中科信研发的高能量离子注入设备，专注于半导体深结掺杂和高能注入应用，能量范围可达数百keV以上。设备设计用于先进芯片制造的特定工艺步骤，如高能离子注入形成深结或特殊结构。该设备具有自动控制系统、稳定性和精度优势，适用于14纳米及以上工艺节点。信息来源基于2021-2022年中国半导体行业协会的报道，显示烁科中科信在该领域的技术突破和实际部署。
中束流离子注入机
烁科中科信开发的全自动中束流离子注入设备，主要用于半导体制造中的掺杂工艺，支持中束流强度和中能量范围（通常在几十keV到MeV之间），适用于逻辑芯片和存储芯片的生产。该设备具备高精度控制、可靠性高和生产效率高的特点，可满足28纳米及更先进工艺节点的需求。基于真实报道，如2022年中国电子科技集团的公告，该产品已实现国产化突破，并在国内晶圆厂如中芯国际中得到应用。
融资次数
2
员工数量
-
专利数量
132
经营范围
半导体器件专用设备制造；软件开发；基础软件服务；应用软件服务；计算机系统服务；技术开发、技术转让、技术推广、技术服务、技术咨询；货物进出口；技术进出口；代理进出口。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本区产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
半导体器件专用设备制造，特别是离子注入机等高端设备，专注于半导体制造关键设备的国产化研发、生产和销售。
北京烁科中科信电子装备有限公司
其他有限责任公司
￥2.2224亿
2019-06-17
王平
010-81500712
zhangm@semicorezkx.com
北京市北京经济技术开发区荣华中路19号院1号楼B座20层102-2002室