半导体光刻用准分子激光光源系统解决方案
提供基于ArF准分子激光技术的光源系统,用于先进半导体光刻工艺,支持193nm波长的高分辨率图案化。该系统通过自主研发实现高能量输出、高稳定性及精度控制,适用于光刻机的核心光源组件,助力芯片制造国产化。
融资次数
4
员工数量
100-499人
专利数量
363
经营范围
技术开发、技术转让、技术推广、技术咨询、技术服务;销售机械设备、电子产品;货物进出口、技术进出口、代理进出口。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
主营业务
科益虹源的主营业务是研发、生产和销售准分子激光光源系统,特别是应用于半导体光刻领域的光源技术,致力于提供专业解决方案以实现高端设备的国产替代。
北京科益虹源光电技术有限公司
其他有限责任公司
¥2.688亿
2016-07-29
江锐
010-56793049
keyi@rslaser.net
北京市北京经济技术开发区融兴北一街19号院3号楼1层101