准分子激光光源系统研发与应用
科益虹源的核心业务领域是研发、生产和应用准分子激光技术，具体专注于深紫外（DUV）激光光源系统的开发。该技术主要服务于半导体制造产业，包括用于光刻设备的光源解决方案，如光刻机中的ArF准分子激光源，以满足高精度、高效率的微电子制造需求。业务基于国家02重大专项成果，强调自主知识产权和技术国产化。
融资次数
4
员工数量
100-499人
专利数量
363
经营范围
技术开发、技术转让、技术推广、技术咨询、技术服务；销售机械设备、电子产品；货物进出口、技术进出口、代理进出口。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
科益虹源的主营业务是研发、生产和销售准分子激光光源系统，特别是应用于半导体光刻领域的光源技术，致力于提供专业解决方案以实现高端设备的国产替代。
北京科益虹源光电技术有限公司
其他有限责任公司
￥2.688亿
2016-07-29
江锐
010-56793049
keyi@rslaser.net
北京市北京经济技术开发区融兴北一街19号院3号楼1层101