193nm ArF准分子激光器
该产品是基于氟化氩（ArF）气体的准分子激光器，波长193纳米，专为先进半导体光刻设计。它能够提供稳定的深紫外光源，支持高精度图案转移，适用于28纳米至5纳米技术节点的集成电路制造。关键参数包括输出功率高达90W、脉冲能量稳定性在±0.5%以内，以及优化的光束均匀性。产品整合了温度控制系统和长寿命激光腔设计，确保在严苛的生产环境中减少停机时间，提升芯片量产效率。
248nm KrF准分子激光器
该产品是基于氟化氪（KrF）气体的深紫外准分子激光器，波长248纳米，主要用于集成电路光刻制造领域。它提供高能量输出（例如，能量稳定性在±1%以内）、高重复频率（如5kHz以上），以及长使用寿命（可达十亿次脉冲）。产品作为光刻机光源的核心组件，支持高分辨率微影制程，适用于90纳米到250纳米节点的半导体生产，具有低维护和高可靠性的特点。
融资次数
4
员工数量
100-499人
专利数量
363
经营范围
技术开发、技术转让、技术推广、技术咨询、技术服务；销售机械设备、电子产品；货物进出口、技术进出口、代理进出口。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
科益虹源的主营业务是研发、生产和销售准分子激光光源系统，特别是应用于半导体光刻领域的光源技术，致力于提供专业解决方案以实现高端设备的国产替代。
北京科益虹源光电技术有限公司
其他有限责任公司
￥2.688亿
2016-07-29
江锐
010-56793049
keyi@rslaser.net
北京市北京经济技术开发区融兴北一街19号院3号楼1层101