设备改造服务
设备改造服务针对国外高端半导体设备进行硬件和软件的改造升级,包括结构优化、功能增强或系统集成。服务涉及设备再设计、添加新功能(如自动化模块)或调整以适应新工艺需求,延长设备寿命、提高兼容性和生产能力,同时降低客户的总体拥有成本(TCO)。
工艺升级服务
工艺升级服务专注于优化现有半导体设备的黄光制程流程,包括改进光阻涂布、显影或曝光参数。服务通过分析工艺数据,引入新技术和软件算法,提升设备效率、良率和产能,减少浪费和缺陷率,适用于老旧设备的性能翻新或新技术整合。
零件开发服务
芯米半导体提供针对国外高端半导体机型的零件开发服务,包括定制化设计、原型制作和生产组件。服务涵盖如机械部件、电子模块或光学元件的开发,基于客户设备需求进行逆向工程或创新设计,确保兼容性和性能优化,满足特定工艺要求。
光阻PUMP
光阻PUMP是一种专用于光阻材料传输的泵设备,在涂布过程中确保光阻液体的稳定和精确供给。它采用耐腐蚀材料设计,支持连续或脉冲式工作模式,防止气泡生成和材料降解,保证光阻输送的均匀性和一致性。该设备是高精度涂布系统的关键组件,直接影响到光阻层的质量和图案精度。
中央供酸系统
中央供酸系统是一种用于半导体黄光制程的化学品供应解决方案,集中管理并输送显影液、蚀刻液等酸性或碱性化学试剂。系统通过管道网络连接到工艺设备,实现化学品的自动化分配和控制,减少人工干预风险,确保化学试剂的纯度、流量和压力稳定,提高工艺的可重复性和安全性。
温湿度控制机
温湿度控制机是半导体制造环境的配套设备,用于精确调控工艺腔室内的温度和湿度条件。在黄光制程中,它确保光阻涂布和显影过程的环境稳定性,防止因温度或湿度变化导致的光阻性能偏移,从而提高晶圆制造的良率和一致性。设备集成传感器和控制系统,实现实时监控和自动调整。
涂布显影设备系列
涂布显影设备(Coater and Developer)用于半导体晶圆制造黄光制程,主要包括涂布机(Coater)和显影机(Developer)。涂布机负责在晶圆表面均匀涂布光阻材料,形成光刻胶层;显影机则通过化学处理将曝光后的光阻进行显影,实现图案化过程。这些设备是高精度半导体制造的关键组成部分,确保光阻涂布厚度和显影效果的一致性,适用于先进工艺节点。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
75
经营范围
半导体分立器件制造;电子工业专用设备制造;集成电路制造;光电子器件及其他电子器件制造;其他电子设备制造;经营各类商品和技术的进出口(不另附进出口商品目录),但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外;机器人及智能设备的设计、研发、制造及销售(不含须经许可审批的项目);集成电路设计;信息技术咨询服务;软件开发。
主营业务
半导体涂布显影设备及相关配套设备的设计、制造、销售与技术服务
芯米(厦门)半导体设备有限公司
有限责任公司(港澳台投资、非独资)
¥3,051万
2019-01-29
吴永胜
15880235078
chenchunrui@ximisemi.com
厦门火炬高新区软件园三期诚毅北大街62号209单元0206号