高压模块系统解决方案
为等离子体工艺设备提供定制化高压直流电源模块方案，支持高电压（达数千伏）输出和电流调节。该方案包含过压保护和热保护机制，确保设备安全运行。适用于高精度偏压控制场景，可集成到蚀刻或沉积设备中。
远程等离子体源解决方案
提供高纯度等离子体生成和传输技术方案，用于半导体清洗和表面处理。采用模块化设计，包括气源控制系统和射频驱动器，支持定制化气体配比（如氧气、氮气等），实现低污染等离子体应用。优化热管理和功率分布，提高工艺均匀性。
自动阻抗匹配器解决方案
针对等离子体负载变化提供实时动态匹配的技术方案，采用算法优化功率传输效率。该方案包括自动调谐模块和传感器反馈系统，可在微秒级完成阻抗调整，适用于高频环境下工艺一致性提升。集成有故障诊断功能，减少系统停机时间。
射频电源系统解决方案
提供高频稳定输出和高效率的射频电源，用于等离子体工艺设备的核心驱动。该系统包括高功率密度设计和闭环反馈控制，确保等离子体发生过程中的功率稳定和能效优化。适用于多种设备集成，并通过EMC和浪涌保护增强系统耐久性。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
4
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；电子元器件制造；电子元器件与机电组件设备制造；电子元器件与机电组件设备销售；通用设备制造（不含特种设备制造）；通用设备修理；机械设备销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；专用设备修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；机械零件、零部件销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
上海励兆科技有限公司专注于半导体行业，主要从事等离子体工艺设备核心部件的研发、制造和销售
上海励兆科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥374万
2022-08-05
赵馗
021-54309199
panwang@smet-inc.com
上海市闵行区陈行公路2168号3幢301-2室