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励兆科技
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远程等离子体源技术
核心技术包含优化电极设计和气流控制机制,实现等离子体在非接触区域的远程生成,创新点在于模块化结构配合磁场辅助聚焦,提高均匀性和活性粒子浓度,适用于高纯度工艺要求。
自动阻抗匹配器技术
采用自适应算法和可编程逻辑控制器(PLC),实时监测并调整阻抗匹配网络,创新点在于智能识别等离子体负载变化并实现微秒级匹配优化,提升功率传输效率并避免驻波反射造成的器件损伤。
高频射频电源技术
该技术基于先进的功率放大拓扑结构和实时反馈控制算法,实现高频(如13.56 MHz或更高)下的稳定输出,创新点包括高效能的脉冲调制和热管理设计,确保等离子体激发的稳定性和可控性,减少功率损耗。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
4
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;半导体器件专用设备制造;半导体器件专用设备销售;半导体分立器件制造;半导体分立器件销售;电子专用材料制造;电子专用材料销售;电子专用材料研发;电子元器件制造;电子元器件与机电组件设备制造;电子元器件与机电组件设备销售;通用设备制造(不含特种设备制造);通用设备修理;机械设备销售;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);专用设备修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);机械零件、零部件销售。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
主营业务
上海励兆科技有限公司专注于半导体行业,主要从事等离子体工艺设备核心部件的研发、制造和销售
公司全称
上海励兆科技有限公司
公司类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
注册资本
¥374万
成立时间
2022-08-05
法定代表人
赵馗
电话
021-54309199
邮箱
panwang@smet-inc.com
地址
上海市闵行区陈行公路2168号3幢301-2室