滤波器
滤波器是励兆科技的标准组件产品，用于射频系统中过滤干扰信号和噪声。它能有效抑制谐波和杂散频率，保证信号纯净和设备运行稳定性，适用于各类等离子体电源和匹配系统，提升整体系统的 EMI/EMC 兼容性和性能。
直流偏压探测器
直流偏压探测器是励兆科技的分析产品，用于监测和测量等离子体工艺中的直流偏置电压变化。它提供实时数据采集和诊断功能，帮助优化工艺参数如电压控制和等离子体密度，减少工艺偏差和提高半导体良率，适用于蚀刻和沉积系统。
高压模块
高压模块是励兆科技提供的定制化产品，用于半导体设备中的高压电源需求。它可为系统提供高电压输出（例如千伏级别），适用于特定离子源或探测器应用，具备高绝缘性、过载保护和安全监控功能，确保在恶劣环境中稳定运行。
远程等离子体源
远程等离子体源是励兆科技的核心技术产品之一，通过将等离子体生成位置远离半导体衬底，以减少热效应和辐射损伤。适用于敏感应用如薄膜沉积或刻蚀工艺，提供可控、均匀的等离子体分布，并支持远程控制功能以增强工艺安全性和精确性。
自动阻抗匹配器
自动阻抗匹配器是励兆科技的关键组件产品，用于在等离子体系统中自动调节电源和负载之间的阻抗匹配。它能实时检测阻抗变化并快速调整，以最大化功率传输效率和减少能量反射，适用于各种半导体工艺设备，提高整体系统可靠性和性能。
射频电源
射频电源是励兆科技的核心产品之一，用于半导体等离子体系统中提供射频能量输出。它支持高频功率范围（通常为13.56 MHz或更高），适用于刻蚀、沉积和清洗工艺，具有高稳定性、低谐波失真特性，以及精确的功率控制能力，确保工艺的一致性和效率。
融资次数
3
员工数量
小于50人
专利数量
4
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；半导体器件专用设备制造；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件制造；半导体分立器件销售；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；电子元器件制造；电子元器件与机电组件设备制造；电子元器件与机电组件设备销售；通用设备制造（不含特种设备制造）；通用设备修理；机械设备销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；专用设备修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；机械零件、零部件销售。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
主营业务
上海励兆科技有限公司专注于半导体行业，主要从事等离子体工艺设备核心部件的研发、制造和销售
上海励兆科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥374万
2022-08-05
赵馗
021-54309199
panwang@smet-inc.com
上海市闵行区陈行公路2168号3幢301-2室