湿法辅助设备集成方案
涵盖化学品混合单元、废液处理模块及工艺尾气洗涤系统的配套设备。通过动平衡测试仪优化泵组运行，结合渗透检测实现零泄漏标准。
化学品分配系统(CDS)
模块化设计的分配系统，采用双密封阀组和渗透检测技术，实现高腐蚀性化学品（HF、H2SO4等）的精确计量输送。集成压力/流量闭环控制，分配精度达±1%。
高阶湿制程清洗蚀刻解决方案
整合8兆超纯水系统的湿法处理设备，通过定制化槽体设计和流体动力学优化，支持单晶圆或批式处理模式。配备化学浓度实时监控模块，满足纳米级清洗要求。
全自动化学镀电镀设备解决方案
基于高精度大型龙门雕铣机和CNC设备制造的化学镀电镀系统，配备动平衡测试仪保证运行稳定性，8兆超纯水系统确保镀液纯度。适用于半导体晶圆表面金属化工艺，实现微米级镀层均匀性控制。
融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
66
经营范围
研发、设计、生产和销售：半导体设备、清洗设备；金属制品加工；软件开发；销售、维修：机械设备及配件；销售：仪器仪表、管道阀门、非危险性化工产品；自营和代理各类商品及技术的进出口业务。（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
芯梦半导体专注于研发和生产高端湿法制程设备，包括全自动化学镀电镀系统、高阶清洗蚀刻设备、化学品分配系统及相关辅助设备，服务于半导体制造业的晶圆处理和工艺优化需求。
江苏芯梦半导体设备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥4,194万
2019-08-07
廖周芳
0512-67296032
sals@js-xm.com.cn
苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢（2号厂房）1、2层