湿法辅助设备
此类设备作为湿法制程的支持系统,包括温度调控装置、压力监测和净化组件。它提供辅助功能如设备冷却和废气处理,确保主要湿法制程设备(如清洗或蚀刻机)的高效运行和整体工艺稳定性。
化学品分配系统(CDS)
CDS是一个集成化系统,负责在湿法制程中精确计量、混合和输送各种化学品,如酸液和溶剂。它采用无污染管道和安全控制机制,减少化学浪费和污染风险,保障制程稳定性和操作员安全。
高阶湿制程清洗蚀刻设备
此设备整合了清洗和蚀刻功能,用于去除晶圆表面污染物并进行选择性蚀刻。它适用于高阶半导体制程,如光刻后清洗和蚀刻,提供高精度控制和环保处理机制,确保晶圆完整性和制程良率。
全自动化学镀电镀设备
该设备采用全自动控制系统,专用于半导体晶圆表面金属层的沉积过程,如铜互连和电镀金属化。它通过精确的工艺参数实现高均匀性、低缺陷的薄膜沉积,支持先进制程的集成度和可靠性提升。
融资次数
3
员工数量
100-499人
专利数量
66
经营范围
研发、设计、生产和销售:半导体设备、清洗设备;金属制品加工;软件开发;销售、维修:机械设备及配件;销售:仪器仪表、管道阀门、非危险性化工产品;自营和代理各类商品及技术的进出口业务。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动)
主营业务
芯梦半导体专注于研发和生产高端湿法制程设备,包括全自动化学镀电镀系统、高阶清洗蚀刻设备、化学品分配系统及相关辅助设备,服务于半导体制造业的晶圆处理和工艺优化需求。
江苏芯梦半导体设备有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥4,194万
2019-08-07
廖周芳
sals@js-xm.com.cn
苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层