气路系统集成解决方案
提供完整的超高纯气路系统集成服务,包括管道布局设计、组件安装、测试和优化,用于构建半导体制造中的气路“血管”网络。确保系统在各种环境下无泄漏、高纯净度运行,并支持从原型设计到量产的全生命周期管理。
半导体电抛光技术解决方案
基于自主研发的半导体电抛光技术,提供高端产品如电抛光部件和核心系统,用于表面精密处理,提升部件的耐磨性和纯度,并确保气路系统中的流动效率。解决方案包括工艺优化、设备供应和故障排除服务。
半导体超高纯气路关键部件解决方案
提供用于半导体制造的气路关键部件,包括超高纯气体减压器、管道阀门、管件等,确保气体输送过程中的纯度和可靠性,满足芯片制造的高精度要求。解决方案涵盖设计、生产、测试和集成服务,支持从实验室到大规模量产的环境。
融资次数
4
员工数量
50-99人
专利数量
88
经营范围
技术服务、技术检测;委托加工流体仪表;销售仪器仪表、机械设备、化工产品(不含一类易制毒化学品及危险化学品)、通讯设备、电子产品、橡胶制品;专业承包。(市场主体依法自主选择经营项目,开展经营活动;依法须经批准的项目,经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动;不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。)
主营业务
半导体级超高纯气路关键零配件(包括减压器、阀门、接头及管道系统)的研发、制造与销售,并提供基于电抛光技术的系统解决方案,服务于集成电路制造产业链。
中科艾尔(北京)科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
¥964万
2008-03-11
耿德占
010-67670907
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北京市北京经济技术开发区(通州)科创东五街2号10幢3至5层