超高纯气路系统集成
提供半导体超高纯气体输送系统的设计、集成与定制化服务，涵盖减压、过滤、分配等关键环节，服务于晶圆厂、刻蚀设备、CVD/PVD装置等半导体制造核心场景。
电抛光技术解决方案
基于自有电抛光（EP）技术，为半导体气路系统提供核心表面处理服务。通过超高平整度与钝化处理，有效降低颗粒析出和金属离子污染，延长部件寿命并提升气体传输洁净度。
超高纯管道阀门系统
提供半导体级超高纯阀门、接头和管道组件，应用于芯片制造设备的供气系统。通过严格的密封设计和材料处理（如电抛光EP技术），保障气路零污染，适用于先进制程的集成电路生产线。
超高纯气体减压器制造
专注研发与生产芯片制造用超高纯气体减压器，实现对气体压力的精密控制，确保半导体生产过程中气体的纯度达到PPB级标准。产品采用全自主制造技术，满足晶圆加工等环节的严苛要求。
融资次数
4
员工数量
50-99人
专利数量
88
经营范围
技术服务、技术检测；委托加工流体仪表；销售仪器仪表、机械设备、化工产品（不含一类易制毒化学品及危险化学品）、通讯设备、电子产品、橡胶制品；专业承包。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
半导体级超高纯气路关键零配件（包括减压器、阀门、接头及管道系统）的研发、制造与销售，并提供基于电抛光技术的系统解决方案，服务于集成电路制造产业链。
中科艾尔（北京）科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥964万
2008-03-11
耿德占
010-67670907
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北京市北京经济技术开发区(通州)科创东五街2号10幢3至5层