国家02重大专项联合攻关
在中科院微电子研究所承担的国家科技重大专项（02专项）某子课题中，中科艾尔作为核心部件供应商，联合攻关14纳米以下制程所需的超高纯特种气体输送系统。公司开发的电化学抛光（EP）不锈钢超高纯阀门和VCR接头，突破国外技术封锁，关键参数达到SEMI标准F20级别（颗粒管控≤0.5μm），通过中芯国际集成验证并应用于国产先进工艺中试线，实现晶圆厂大宗气体系统阀件的首次国产化验证装线。
服务天宫空间站项目
中科艾尔自主研发的芯片级超高纯气体减压器和管道阀门成功应用于中国空间站（天宫）工程生命保障系统及实验舱气体输送模块。其提供的半导体级超高纯气路零配件满足空间环境极端工况要求，实现关键部件的纯国产化替代，保障了气体传输系统的纯净度（杂质控制达PPT级）与可靠密封性，通过航天科技集团五院严格的环境模拟测试（包含振动、真空冷焊、颗粒释放等数十项指标）后批量交付使用。
融资次数
4
员工数量
50-99人
专利数量
88
经营范围
技术服务、技术检测；委托加工流体仪表；销售仪器仪表、机械设备、化工产品（不含一类易制毒化学品及危险化学品）、通讯设备、电子产品、橡胶制品；专业承包。（市场主体依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事国家和本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
主营业务
半导体级超高纯气路关键零配件（包括减压器、阀门、接头及管道系统）的研发、制造与销售，并提供基于电抛光技术的系统解决方案，服务于集成电路制造产业链。
中科艾尔（北京）科技有限公司
有限责任公司(自然人投资或控股)
￥964万
2008-03-11
耿德占
010-67670907
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