晶圆套刻测量解决方案
提供精确的套刻误差测量能力，通过集成光学量检测系统，实时监控连续光刻层对准精度，帮助优化光刻工艺以减少误差。系统适用于集成电路制造中的关键套刻校准阶段。
晶圆缺陷检测解决方案
针对晶圆制造中的表面缺陷检测需求，该系统利用高分辨率光学技术实现非接触式检测，可识别颗粒、划痕等缺陷，支持良率提升和制造过程优化。设计专注于集成电路晶圆的前道检测流程。
掩模缺陷检测解决方案
该解决方案专注于集成电路掩模版的高精度光学缺陷检测，采用先进的光学量检测系统设计，专门用于光刻前掩模版的微小缺陷识别，确保图案完整性。系统适用于掩模制造和集成电路前道工艺的质量控制。
融资次数
4
员工数量
50-99人
专利数量
34
经营范围
一般项目：技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；软件开发；软件销售；半导体器件专用设备制造；机械电气设备制造；半导体器件专用设备销售；机械电气设备销售；光学仪器制造；光学仪器销售；其他专用仪器制造；仪器仪表制造；仪器仪表销售；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子测量仪器制造；电子测量仪器销售；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售（除许可业务外，可自主依法经营法律法规非禁止或限制的项目）许可项目：货物进出口；技术进出口（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动）
主营业务
为集成电路制造提供先进的前道量检测装备，聚焦光学量检测系统的设计、集成与制造，涵盖掩模版检测、晶圆检测、泛半导体检测及晶圆测量四大领域。
合肥御微半导体技术有限公司
其他有限责任公司
￥1,666万
2021-07-01
刘浩
0551-65116087
chencj@yuweitk.com
安徽省合肥市高新区华佗巷469号品恩科技园1号楼