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三甲硅烷基胺
南大光电
光电子材料MO源研发商
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产品概况


       

       三甲硅烷基胺是一种在半导体和光伏行业非常重要的前驱体材料,其核心价值在于能提供高纯的硅和氮元素,用于制造高性能薄膜。


应用场景



       它最主要的作用是在芯片和太阳能电池制造中,通过化学气相沉积(CVD)或原子层沉积(ALD)工艺生成

高质量的氮化硅薄膜。具体用于半导体芯片、光伏太阳能电池,也可用于制备其他氮化物陶瓷或作为合成中间体。




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