Sorter(晶圆分选机)和EFEM(Equipment Front End Module,设备前端模块)都是用于半导体制造晶圆搬运的设备,负责wafer的中转和分选,确保生产流程的连续性和高效性,保障晶圆厂物料流转需求。主要客户包括半导体晶圆制造厂、设备制造商等。
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Sorter(晶圆分选机)和EFEM(Equipment Front End Module,设备前端模块)都是用于半导体制造晶圆搬运的设备,负责wafer的中转和分选,确保生产流程的连续性和高效性,保障晶圆厂物料流转需求。主要客户包括半导体晶圆制造厂、设备制造商等。